晶圓烘箱是半導體制造中用于晶圓熱處理的關鍵設備，其核心功能是通過準確控溫實現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理，直接影響半導體器件的良品率與性能。

　　晶圓烘箱主要基于熱對流方式，通過電熱器等產(chǎn)生熱風，使熱風在烘箱內(nèi)部循環(huán)流動，從而對待烘干的半導體材料進行均勻地加熱和干燥。

　　維護建議：

　　日常清潔：每次使用完畢后，應及時清理烘箱內(nèi)的殘留物和雜質(zhì)，保持內(nèi)部清潔。使用濕布或中性清潔劑擦拭烘箱內(nèi)外表面，避免使用腐蝕性強的清潔劑。

　　電氣部件檢查：定期檢查烘箱的電源線、插頭和插座，確保連接牢固，無破損或裸露現(xiàn)象。定期檢查烘箱的溫控器、定時器等電氣部件，確保其工作正常，顯示準確。如有異常，應及時聯(lián)系專業(yè)人員進行維修或更換。

　　加熱系統(tǒng)維護：定期檢查烘箱的加熱元件，如加熱管、加熱絲等，確保其無破損、變形或短路現(xiàn)象。清理加熱元件上的灰塵和雜物，保持其清潔，以提高加熱效率。

　　通風系統(tǒng)檢查：定期檢查烘箱的通風系統(tǒng)，確保風機運轉(zhuǎn)正常，風道暢通無阻。

　　安全裝置檢查：定期檢查烘箱的超溫保護裝置，確保其能顯時自動斷電，保護設備和樣品安全。

　　長期停用保養(yǎng)：在長期停用前，應對烘箱進行清潔，并關閉所有開關和閥門。將烘箱放置在干燥通風的地方，避免陽光直射和潮濕環(huán)境。